1. 概论

a) 干式螺杆真空泵在操作过程中，由于压缩产生热，使得温度会升高。

但是如果温度只是局部升高，并且夹套外部也热，则是不正常的现象。

可能是由于不适当的冷却水供应或切断了冷却水、泵体和螺杆间的摩擦、螺杆间的碰撞或是泵吸收了某些杂质。因此，需要关闭泵，检查异常情况。

有时，是因为泵使用了很长时间，螺杆和泵体被腐蚀了，泵的各部位间隙变大，泵的抽气能力比起初降低了，大量被排出的气体返回到吸入端，这时就需要清理修复这些部件。

b) 及时记录不正常情况，对轴承温度、振动和噪音作常规性检查。每天做到尽力保养。

c) 可以通过听诊器监 听噪音，记录螺杆间或螺杆与泵体之间的碰撞摩擦。

d) 在冬天或在温度低的地方，无论什么时候停车，都要将冷却水排尽。

2. 周期性检查

● 每日

a) 油标测量：润滑油过多或过少都会损坏齿轮和轴承。

b) 检查冷却水是否充足。

c) 检查油脂封盖和前后端盖的温度。方便的话可以使用合适的温度计或表面温差电偶。

d) 检查吸入和排出压力，确保对泵的操作遵循说明书的规范。

e) 检查电机的负荷。电机负荷增加时表现出来的不正常现象应记录下来。

● 每月

a) 检查V型带的张力。

b) 检查润滑油的成色。(如果油变成黑色，则需更换)

c) 检查油标水平。如果油急剧减少，则需检查密封件。

● 每季度

检查冷却水的流动和颜色。如果有不对的地方，清理水流过的夹套和水管。

● 每半年

a) 检查泵的连接管路。

b) 更换前端齿轮箱的润滑油。

c) 更换后端盖内轴承的油脂。

● 每年

a) 检查机械密封(如果装有机械密封)。

b) 检查螺杆和泵体的内表面。拆开吸气管，检查螺杆和泵体的表面涂层。

c) 拆开前盖，检查齿轮和轴承。

3. 使用范围

a) 工业炉：真空钎焊、真空烧结、真空退火、真空加压气淬、真空脱Q等。

b) 真空镀膜：真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜、薄膜卷绕连续镀膜、离子镀等。

c) 冶金：特种钢冶炼、真空感应炉、真空脱硫、脱气。

d) 电子变压器、互感器、环氧树脂真空浇注、电容器真空浸油、真空压力浸渍。

e) 航空、航天：航天搭载飞船轨道舱、返回舱、火箭姿态调整舱、宇航服、宇航员太空出舱、飞机升空等真空模拟试验。

f ) 干燥：变压法真空干燥、煤油气箱干燥、木材干燥、蔬菜冷冻干燥。

g) 化工、制药：产品蒸馏、干燥、脱气、物料输送等。