真空泵的定义

“真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置”

真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。

真空度的划分

螺杆真空泵

螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆Z末端的螺旋结构对气体有压缩作用。

螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境等。

螺杆泵的应用

螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。

在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程；在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得；化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物；医药工业中用于回收药液及药 物中间体，回收气体消毒剂；食品工业中用于香料、香精浓缩，食品包装等，应用范围极为广泛。

罗茨泵

罗茨泵在泵腔内，有二个"8"字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。

优点

启动快，耗功少，运转保护费用低；抽速大、效力高；多功能:按需配置，根据工况需求定制；坚固耐用:使用寿命长，操作简单耐用。

罗茨泵的应用

罗茨真空泵在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，在国内大力推广和应用。同时罗茨真空泵广泛用于真空冶金中的冶炼、脱气、轧制，以及食品、医药工业中的真空蒸馏、真空浓缩和真空干燥等方面，同时在冶炼、石油化工、电工、电子、包装等行业得到了普遍的运用。