液环泵：液环泵的性能会受到各种条件的影响，而造成真空性能的下降

例如：

1）密封液蒸汽压过高

液环泵通常采用水作为密封液，在一些特殊应用场合，亦可使用其它的液体。一般来说，密封液的温度愈低，其蒸汽压亦愈低，如果密封液的蒸汽压过高，当泵的工作压力接近密封液的蒸汽压时，密封液就从液态急剧蒸发成汽态（气蚀），造成泵的抽气能力下降。为了防止泵的气蚀，根据经验，密封液在工作温度下的蒸汽压要小于泵的工作压力（P1）的二分之一。

例如水的蒸汽压在15℃时PV=1769Pa，于是泵充许Z低的工作压力为：P1 =2×1769=3538Pa

如果泵的工作压力低于这个值，泵内就会产生汽蚀，Z终使泵的叶轮遭到损坏。当液环泵用水作为密封液时，如果直接将高温的水输入到泵内，由于水的温度高蒸汽压亦高，当蒸汽压增加到接近泵的工作压力时，水就急骤蒸发，使泵的性能下降。

2）密封液的流量不当

为了获得所要求的性能，每一个型号泵的密封液流量都有规定，而且必须控制在所要求流量的5％以内，如果流量得不到控制，就会产生下列情况：

❶ 假如供给泵的密封液流量过多，则泵内液环的容积就会增加，转子用来排除工艺气体的容积就减小，造成抽速降低和真空性能变坏。

❷ 假如供给泵的密封液流量过少，则泵内液环的容积就減小，转子和泵壳之间就形成不了密封，于是在内部产生一个从排气口到吸入口的返流，同样亦使泵的性能变坏。

3）密封液被工艺气体所污染（在密封液全循环系统情况下）

工艺气体中含有可凝物——在抽气过程中，这些可凝物与泵内的密封液相接触时，很容易聚集在密封液中，假如这些物质的蒸汽压高于泵的工作压力就会突然蒸发成蒸汽，使泵的性能変坏。

工艺气体中含有颗粒——在抽气体过程中，这些颗粒会堵塞液环泵系统的管路、过滤器、热交换器、阀门等，使输送到泵内的密封液的流量受到限制，导致泵的性能降低以及液环泵的过热。

干式螺杆真空泵

干式螺杆泵通常遇到的问题是应用和操作不当。

1）过热和卡死

干式螺杆泵对外界的各种条件是非常敏感的，通常造成过热的原因如下：

❶ 冷却水的流量不够和泠却水的温度过高。由于螺杆真空泵内部温度很高，它对于冷却水的流量和温度的要求比较严格，如果流量和温度不符合制造厂家的规定，会导致泵的过热和卡死。

❷ 入口气体温度过高。因为螺杆泵内部没有吸收热量的液体，根据干式螺杆真空泵的设计，其泵的内部温度是在110℃到260℃之间，所以厂家都规定了泵的Z高入口温度，一般不允许超过70℃，如果忽略了这个问题，就会导致泵的内部温度过高，甚至泵被卡死。

❸ 与罗茨泵的配比不合理。在螺杆真空泵与罗茨真空泵选型过程中，有些参数是必须考虑的，其中主要的是干式螺杆泵与上游罗茨真空泵的配比，亦就是容积流率之比：

SR = S1 / S2

S1 / S2 = P2 / P1

其中，S1为罗茨泵容积流率，S2为螺杆泵容积流率，P1为罗茨泵的入口压力，P2为螺杆泵的入口压力，SR为级比。

由于S1 通常大于S2，所以P2 大于P1，当气体通过罗茨泵以后，其排出的气体温度会升高，当进入螺杆泵的气体温度超出允许值后，就会造成泵的过热甚致卡死。为了可靠起见，一般SR 取2～4之间。

2）泵腔内存在积液现象，造成振动和噪音增大

当螺杆真空泵抽除可凝性气体时，在泵的排气口会堆积被冷凝的液体，一旦泵停车时，这些液体就返回到泵腔内，造成泵再启动困难，振动和噪声增加大。如果这些液体具有腐蚀性，长时间残留在泵腔内，则会腐蚀螺杆和泵腔。

所以在设计真空装置时，泵的排气管道要低于泵的排气口的位置，或者在泵的排气口处安装一台单向阀，当泵停车时，阀门自动关闭，以防止被冷凝的液体倒流到泵腔内。

3）油箱内的润滑油变质

螺杆真空泵大都用于抽除可凝性气体或腐蚀性气体。虽然泵腔和油箱之间设有机械密封或迷宫密封，而且在密封处还有气障保护，以防止工艺气体进入到油箱。但是仍然会有少量工艺气体进入到油箱，当积累到一定程度，润滑油就会变质。

所以油箱里的润滑油还是需要根据不同工艺，在3~6个月进行更换。如果被抽气体腐蚀性很强，则需要采用耐腐蚀的氟油，以确保泵的正常运行。

4）电机电流过高

造成这个问题的原因有：

❶ 过高的排气压力（背压）。

❷ 由于冷却水和入口气体温度过高，而造成螺杆之间的相互接触。

❸ 工艺物质堆积在泵内。

上述❶和❷己经在前面讨论过，现在重点讨论工艺物质堆积问题。

众所周知，许多真空工艺都含有化学物质，它们在高温下具有粘性，很容易堆积并烧结在螺杆的表面，见图7所示，当堆积的厚度不断增加时，就会在螺杆与螺杆之间出现一个零间隙，造成相互接触，于是在泵轴上产生一个附加扭矩，导致泵的运行电流增加。

关于工艺物质堆积问题的解决方案，可以作如下选择：

方案1，在螺杆泵的上游设置分离罐或过滤器；方案2，用水蒸汽冲洗。方案1对于延长泵的寿命是非常有利，然而这些过滤器是很昂贵，亦需要经常维护，另外当过滤器堵塞时，会导致螺杆泵对容器的有效抽速下降。

方案2，用水蒸汽冲洗，虽然无需过滤器，但操作不当，亦有可能造成对泵的损害和不能确保冲洗后的效果。冲洗时，泵要停止运行，关闭泵的入口阀门，打开泵的排气口，从泵的入口通入水蒸汽，直到螺杆泵可以灵活转动为止。冲洗完成后，螺杆泵仍需空转运行20分钟，使泵腔内部始终保持干燥状态。